應用范圍：8寸、12寸集成電路產(chǎn)品。

特點(diǎn)：
完全自主設計的傳送機構，設備精度和生產(chǎn)效率達到世界先進(jìn)水平。
精度可達±15μm。

UPH > 18K/H。